- 地址：
- 深圳市光明區新湖街道樓村社區紅銀路46號C棟202
- 郵箱：
- 194075814@qq.com
- 電話(huà)：
- 0755-27888049
- 傳真：
- 0755-27888049-803
- 手機：
- 曾經(jīng)理-17318037685
晶圓在運輸和臨時(shí)存放過(guò)程中確實(shí)需要注意濕度。以下是關(guān)于晶圓在運輸和臨時(shí)存放過(guò)程中濕度控制的具體要求及原因：
一、運輸過(guò)程中的濕度控制
濕度要求：晶圓在運輸過(guò)程中，應控制在適宜的濕度范圍內，一般建議濕度控制在30%50%RH，也有說(shuō)法認為應控制在50%60%RH。這一范圍內的濕度可以避免晶圓表面吸水或靜電荷積累過(guò)多，從而保證晶圓的質(zhì)量和性能。
包裝要求：為了確保濕度的穩定，晶圓通常被放置在晶圓盒中，晶圓盒再放入防靜電的袋子里，并抽真空處理。此外，裝晶圓盒的袋子還會(huì )被放入有軟墊等緩沖材料保護的箱子中，以防止物理?yè)p傷。這些操作通常在無(wú)塵車(chē)間完成。
二、臨時(shí)存放過(guò)程中的濕度控制
存儲環(huán)境：晶圓臨時(shí)存放時(shí)，一般放在氮氣柜里。氮氣柜通有高純氮氣，以控制濕度與溫度。濕度通?？刂圃?0%~24%（另一說(shuō)法為40%~60%RH），具體數值可能根據現場(chǎng)情況有所調整。溫度則一般控制在20℃~25℃。這樣的溫濕度條件可以確保晶圓在存放過(guò)程中保持穩定，避免因環(huán)境變化而導致質(zhì)量問(wèn)題。
氮氣柜管理：為了確保氮氣柜內的溫濕度控制在適宜范圍內，需要定期檢查氮氣純度、氮氣柜的密封性能以及柜內物品的擺放情況。同時(shí)，安裝溫濕度傳感器和報警器以實(shí)時(shí)監測柜內溫濕度情況也是必要的措施。
三、濕度控制的重要性
防止氧化和腐蝕：適宜的濕度條件可以防止晶圓表面發(fā)生氧化和腐蝕，從而延長(cháng)晶圓的使用壽命。
保持晶圓性能：極端的濕度變化可能導致晶圓材料發(fā)生變化，進(jìn)而影響其電學(xué)性能和機械性能。因此，控制濕度對于保持晶圓性能至關(guān)重要。
綜上所述，晶圓在運輸和臨時(shí)存放過(guò)程中確實(shí)需要注意濕度控制。通過(guò)采取適當的包裝和存儲措施以及定期檢查氮氣柜的溫濕度情況，可以確保晶圓在運輸和存儲過(guò)程中的質(zhì)量和性能不受影響。
